SISTEMA PER LA RIMOZIONE DI MATERIALI IN PLASMA DELLA TIPOLOGIA RIE Reattive Ion Etching
ISTITUTO DI FOTONICA E NANOTECNOLOGIE DEL CNR
FORNITURA, INSTALLAZIONE E MESSA IN FUNZIONE DI UN SISTEMA DI PLASMA ETCHING PER LA RIMOZIONE IN PLASMA DI OSSIDI, OSSI-NITURI E NITURI DI SILICIO, POLI-SILICIO, DROGATO SU LOTTI DI PRODUZIONE DA 25 WAFER DI SUBSTRATI DA 150 MM PREDISPOSTI PER TRATTARE SUBSTRATI DA 200 MM.
ScadenzaIl termine per la ricezione delle offerte era 2023-12-10. L'appalto è stato pubblicato su 2023-11-16.
Chi? Cosa? Dove?
Storia dell'approvvigionamento
| Data | Documento |
|---|---|
| 2023-11-16 | Avviso di gara |
Avviso di gara (2023-11-16)
Oggetto
Ambito di applicazione dell'appalto
Titolo: Ricerca, sperimentazione e simulatori tecnico-scientifici
Numero di riferimento: A02B3C5E93
Breve descrizione:
Metadati dell'avviso
Lingua originale: italiano 🗣️
Tipo di documento: Avviso di gara
Natura del contratto: Forniture
Regolamento: Unione Europea
Vocabolario comune per gli appalti (CPV)
Codice: Ricerca, sperimentazione e simulatori tecnico-scientifici 📦
Luogo di esecuzione
Regione NUTS: Trento 🏙️
Procedura
Tipo di procedura: Procedura aperta
Tipo di offerta: Presentazione di un'offerta per tutti i lotti
Criteri di assegnazione
Offerta economicamente più vantaggiosa
Amministrazione aggiudicatrice
Identità
Paese: Italia 🇮🇹
Tipo di amministrazione aggiudicatrice: Altro
Nome dell'amministrazione aggiudicatrice: Istituto di fotonica e nanotecnologie del cnr
Indirizzo postale: VIA SOMMARIVE, 18
Codice postale: 38128
Città postale: Trento
Contatto
Indirizzo Internet: http://www.cnr.it 🌏
E-mail: alessandra.brocca@ifn.cnr.it 📧
Telefono: +39 0223996281 📞
URL dei documenti: http://www.cnr.it 🌏
URL per la partecipazione: http://www.acquistinretepa.it 🌏
Riferimento
Date
Data di invio: 2023-11-16 📅
Termine di presentazione: 2023-12-10 📅
Data di pubblicazione: 2023-11-21 📅
Identificatori
Numero dell'avviso: 2023/S 224-706104
Numero GU-S: 224
Oggetto
Ambito di applicazione dell'appalto
Valore totale stimato: 850 000 EUR 💰
Valore stimato al netto dell'IVA: 850 000 EUR 💰
Durata: 365 giorni
Nome del progetto o programma finanziato dall'UE: PNRR MISSIONE 4 COMPONENTE 2 INVESTIMENTO 3.1 PROGETTO NFFA-DI "NANO FOUNDRIES AND FINE ANALYSIS - DIGITAL INFRASTRUCTURE CUP B53C22004310006
Luogo di esecuzione
Sede principale o luogo di esecuzione:
Procedura
Base giuridica: 32014L0024
Ora di ricezione delle offerte: 17:00
Lingue in cui possono essere presentate le offerte o le domande di partecipazione: italiano 🗣️
Periodo di validità dell'offerta: 6 mesi
Data di apertura delle offerte: 2023-12-14 📅
Ora di apertura delle offerte: 11:00
Luogo: Piattaforma telematica asp
Criteri di assegnazione
Criterio di qualità (nome): Prego tecnico
Criterio di qualità (ponderazione): 70
Prezzo (ponderazione): 30
Amministrazione aggiudicatrice
Identità
Numero di registrazione nazionale: 80054330586
Altro tipo di amministrazione aggiudicatrice: ente pubblico nazionale
Contatto
Referente: Alessandra brocca
Indirizzo Internet: www.cnr.it 🌏
Indirizzo del profilo dell'acquirente: www.cnr.it 🌏
URL dei documenti: www.cnr.it 🌏
Nome dell'amministrazione aggiudicatrice: SISTEMA PER LA RIMOZIONE DI MATERIALI IN PLASMA DELLA TIPOLOGIA RIE Reactive Ion Etching
Numero di registrazione nazionale: A02B3C5E93
Città postale: trento
Referente: Alessandra Brocca
E-mail: alessandra.brocca@ifn.cn.it 📧
Fax: +39 0223996126 📠
Paese: Trento 🏙️
URL per la partecipazione: www.acquistinretepa.it 🌏
URL dei documenti: www.cnr.it 🌏
Informazioni complementari
Corpo di revisione
Nome: Tribunale amministrativo regionale del lazio
Indirizzo postale: VIA FLAMINIA, 189
Città postale: Roma
Codice postale: 00196
Paese: Italia 🇮🇹
Telefono: +39 06328721 📞
E-mail: tarrm-segrprotocolloamm@ga-cert.it 📧
Fax: +39 32872315 📠
Indirizzo Internet: www.giustiziaammnistrativa.it 🌏
Fonte: OJS 2023/S 224-706104 (2023-11-16)
Oggetto
Ambito di applicazione dell'appalto
Titolo: Ricerca, sperimentazione e simulatori tecnico-scientifici
Numero di riferimento: A02B3C5E93
Breve descrizione:
FORNITURA, INSTALLAZIONE E MESSA IN FUNZIONE DI UN SISTEMA DI PLASMA ETCHING PER LA RIMOZIONE IN PLASMA DI OSSIDI, OSSI-NITURI E NITURI DI SILICIO, POLI-SILICIO, DROGATO SU LOTTI DI PRODUZIONE DA 25 WAFER DI SUBSTRATI DA 150 MM PREDISPOSTI PER TRATTARE SUBSTRATI DA 200 MM.
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Lingua originale: italiano 🗣️
Tipo di documento: Avviso di gara
Natura del contratto: Forniture
Regolamento: Unione Europea
Vocabolario comune per gli appalti (CPV)
Codice: Ricerca, sperimentazione e simulatori tecnico-scientifici 📦
Luogo di esecuzione
Regione NUTS: Trento 🏙️
Procedura
Tipo di procedura: Procedura aperta
Tipo di offerta: Presentazione di un'offerta per tutti i lotti
Criteri di assegnazione
Offerta economicamente più vantaggiosa
Amministrazione aggiudicatrice
Identità
Paese: Italia 🇮🇹
Tipo di amministrazione aggiudicatrice: Altro
Nome dell'amministrazione aggiudicatrice: Istituto di fotonica e nanotecnologie del cnr
Indirizzo postale: VIA SOMMARIVE, 18
Codice postale: 38128
Città postale: Trento
Contatto
Indirizzo Internet: http://www.cnr.it 🌏
E-mail: alessandra.brocca@ifn.cnr.it 📧
Telefono: +39 0223996281 📞
URL dei documenti: http://www.cnr.it 🌏
URL per la partecipazione: http://www.acquistinretepa.it 🌏
Riferimento
Date
Data di invio: 2023-11-16 📅
Termine di presentazione: 2023-12-10 📅
Data di pubblicazione: 2023-11-21 📅
Identificatori
Numero dell'avviso: 2023/S 224-706104
Numero GU-S: 224
Oggetto
Ambito di applicazione dell'appalto
Valore totale stimato: 850 000 EUR 💰
Valore stimato al netto dell'IVA: 850 000 EUR 💰
Durata: 365 giorni
Nome del progetto o programma finanziato dall'UE: PNRR MISSIONE 4 COMPONENTE 2 INVESTIMENTO 3.1 PROGETTO NFFA-DI "NANO FOUNDRIES AND FINE ANALYSIS - DIGITAL INFRASTRUCTURE CUP B53C22004310006
Luogo di esecuzione
Sede principale o luogo di esecuzione:
CNR-IFN TRENTO C/O LABORATORIO CLEANROOM CR D presso la Fondazione Bruno Kessler, Via Sommarie, 18 - 38123 Povo (Trento)
Procedura
Base giuridica: 32014L0024
Ora di ricezione delle offerte: 17:00
Lingue in cui possono essere presentate le offerte o le domande di partecipazione: italiano 🗣️
Periodo di validità dell'offerta: 6 mesi
Data di apertura delle offerte: 2023-12-14 📅
Ora di apertura delle offerte: 11:00
Luogo: Piattaforma telematica asp
Criteri di assegnazione
Criterio di qualità (nome): Prego tecnico
Criterio di qualità (ponderazione): 70
Prezzo (ponderazione): 30
Amministrazione aggiudicatrice
Identità
Numero di registrazione nazionale: 80054330586
Altro tipo di amministrazione aggiudicatrice: ente pubblico nazionale
Contatto
Referente: Alessandra brocca
Indirizzo Internet: www.cnr.it 🌏
Indirizzo del profilo dell'acquirente: www.cnr.it 🌏
URL dei documenti: www.cnr.it 🌏
Nome dell'amministrazione aggiudicatrice: SISTEMA PER LA RIMOZIONE DI MATERIALI IN PLASMA DELLA TIPOLOGIA RIE Reactive Ion Etching
Numero di registrazione nazionale: A02B3C5E93
Città postale: trento
Referente: Alessandra Brocca
E-mail: alessandra.brocca@ifn.cn.it 📧
Fax: +39 0223996126 📠
Paese: Trento 🏙️
URL per la partecipazione: www.acquistinretepa.it 🌏
URL dei documenti: www.cnr.it 🌏
Informazioni complementari
Corpo di revisione
Nome: Tribunale amministrativo regionale del lazio
Indirizzo postale: VIA FLAMINIA, 189
Città postale: Roma
Codice postale: 00196
Paese: Italia 🇮🇹
Telefono: +39 06328721 📞
E-mail: tarrm-segrprotocolloamm@ga-cert.it 📧
Fax: +39 32872315 📠
Indirizzo Internet: www.giustiziaammnistrativa.it 🌏
Fonte: OJS 2023/S 224-706104 (2023-11-16)
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