SISTEMA PER LA RIMOZIONE DI MATERIALI IN PLASMA DELLA TIPOLOGIA RIE Reattive Ion Etching

ISTITUTO DI FOTONICA E NANOTECNOLOGIE DEL CNR

FORNITURA, INSTALLAZIONE E MESSA IN FUNZIONE DI UN SISTEMA DI PLASMA ETCHING PER LA RIMOZIONE IN PLASMA DI OSSIDI, OSSI-NITURI E NITURI DI SILICIO, POLI-SILICIO, DROGATO SU LOTTI DI PRODUZIONE DA 25 WAFER DI SUBSTRATI DA 150 MM PREDISPOSTI PER TRATTARE SUBSTRATI DA 200 MM.

Scadenza
Il termine per la ricezione delle offerte era 2023-12-10. L'appalto รจ stato pubblicato su 2023-11-16.

Chi?

Cosa?

Dove?

Storia dell'approvvigionamento
Data Documento
2023-11-16 Avviso di gara
Avviso di gara (2023-11-16)
Amministrazione aggiudicatrice
Nome e indirizzi
Nome: Istituto di fotonica e nanotecnologie del cnr
Numero di registrazione nazionale: 80054330586
Indirizzo postale: VIA SOMMARIVE, 18
Cittร  postale: Trento
Codice postale: 38128
Paese: Italia ๐Ÿ‡ฎ๐Ÿ‡น
Persona di contatto: Alessandra brocca
Telefono: +39 0223996281 ๐Ÿ“ž
E-mail: alessandra.brocca@ifn.cnr.it ๐Ÿ“ง
Regione: Trento ๐Ÿ™๏ธ
URL: www.cnr.it ๐ŸŒ
Indirizzo del profilo dell'acquirente: www.cnr.it ๐ŸŒ
Comunicazione
URL dei documenti: www.cnr.it ๐ŸŒ
Ulteriori informazioni possono essere ottenute da
Nome:
โ€œSISTEMA PER LA RIMOZIONE DI MATERIALI IN PLASMA DELLA TIPOLOGIA RIE Reactive Ion Etchingโ€
Numero di registrazione nazionale: A02B3C5E93
Indirizzo postale: VIA SOMMARIVE, 18
Cittร  postale: trento
Codice postale: 38128
Paese: Italia ๐Ÿ‡ฎ๐Ÿ‡น
Persona di contatto: Alessandra Brocca
Telefono: +39 0223996281 ๐Ÿ“ž
E-mail: alessandra.brocca@ifn.cn.it ๐Ÿ“ง
Fax: +39 0223996126 ๐Ÿ“ 
Regione: Trento ๐Ÿ™๏ธ
URL: www.cnr.it ๐ŸŒ
URL dell'acquirente: www.cnr.it ๐ŸŒ
Comunicazione
URL di partecipazione: www.acquistinretepa.it ๐ŸŒ
Tipo di amministrazione aggiudicatrice
Altro tipo: ente pubblico nazionale

Oggetto
Ambito di applicazione dell'appalto
Titolo:
โ€œSISTEMA PER LA RIMOZIONE DI MATERIALI IN PLASMA DELLA TIPOLOGIA RIE Reattive Ion Etching A02B3C5E93โ€
Prodotti/servizi: Ricerca, sperimentazione e simulatori tecnico-scientifici ๐Ÿ“ฆ
Breve descrizione:
โ€œFORNITURA, INSTALLAZIONE E MESSA IN FUNZIONE DI UN SISTEMA DI PLASMA ETCHING PER LA RIMOZIONE IN PLASMA DI OSSIDI, OSSI-NITURI E NITURI DI SILICIO,...โ€    Mostra di piรน
Valore stimato al netto dell'IVA: EUR 850 000 ๐Ÿ’ฐ

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Luogo di esecuzione: Trento ๐Ÿ™๏ธ
Sede principale o luogo di esecuzione:
โ€œCNR-IFN TRENTO C/O LABORATORIO CLEANROOM CR D presso la Fondazione Bruno Kessler, Via Sommarie, 18 - 38123 Povo (Trento)โ€
Descrizione dell'appalto:
โ€œFORNITURA, INSTALLAZIONE E MESSA IN FUNZIONE DI UN SISTEMA DI PLASMA ETCHING PER LA RIMOZIONE IN PLASMA DI OSSIDI, OSSI-NITURI E NITURI DI SILICIO,...โ€    Mostra di piรน
Criteri di assegnazione
Criterio di qualitร  (nome): Prego tecnico
Criterio di qualitร  (ponderazione): 70
Prezzo (ponderazione): 30
Ambito di applicazione dell'appalto
Valore totale stimato, IVA esclusa: EUR 850 000 ๐Ÿ’ฐ
Durata del contratto, dell'accordo quadro o del sistema dinamico di acquisizione
Descrizione
Durata: 365
Ambito di applicazione dell'appalto
Informazioni sui fondi dell'Unione Europea:
โ€œPNRR MISSIONE 4 COMPONENTE 2 INVESTIMENTO 3.1 PROGETTO NFFA-DI "NANO FOUNDRIES AND FINE ANALYSIS - DIGITAL INFRASTRUCTURE CUP B53C22004310006โ€

Informazioni legali, economiche, finanziarie e tecniche
Posizione economica e finanziaria
Criteri di selezione come indicato nei documenti di gara
Capacitร  tecnica e professionale
Criteri di selezione come indicato nei documenti di gara

Procedura
Tipo di procedura
Procedura aperta
Informazioni amministrative
Termine per la ricezione delle offerte o delle domande di partecipazione: 2023-12-10 17:00 ๐Ÿ“…
Lingue in cui possono essere presentate le offerte o le domande di partecipazione: italiano ๐Ÿ—ฃ๏ธ
L'arco di tempo indicato di seguito รจ espresso in numero di mesi.
Periodo di tempo minimo durante il quale l'offerente deve mantenere l'offerta: 6
Condizioni per l'apertura delle offerte: 2023-12-14 11:00 ๐Ÿ“…
Condizioni per l'apertura delle offerte (luogo): Piattaforma telematica asp

Informazioni complementari
Corpo di revisione
Nome: Tribunale amministrativo regionale del lazio
Indirizzo postale: VIA FLAMINIA, 189
Cittร  postale: Roma
Codice postale: 00196
Paese: Italia ๐Ÿ‡ฎ๐Ÿ‡น
Telefono: +39 06328721 ๐Ÿ“ž
E-mail: tarrm-segrprotocolloamm@ga-cert.it ๐Ÿ“ง
Fax: +39 32872315 ๐Ÿ“ 
URL: www.giustiziaammnistrativa.it ๐ŸŒ
Fonte: OJS 2023/S 224-706104 (2023-11-16)