FORNITURA, INSTALLAZIONE E MESSA IN FUNZIONE DI UN SISTEMA DI PLASMA ETCHING PER LA RIMOZIONE IN PLASMA DI OSSIDI, OSSI-NITURI E NITURI DI SILICIO, POLI-SILICIO, DROGATO SU LOTTI DI PRODUZIONE DA 25 WAFER DI SUBSTRATI DA 150 MM PREDISPOSTI PER TRATTARE SUBSTRATI DA 200 MM.
Scadenza
Il termine per la ricezione delle offerte era 2023-12-10.
L'appalto รจ stato pubblicato su 2023-11-16.
Avviso di gara (2023-11-16) Amministrazione aggiudicatrice Nome e indirizzi
Nome: Istituto di fotonica e nanotecnologie del cnr
Numero di registrazione nazionale: 80054330586
Indirizzo postale: VIA SOMMARIVE, 18
Cittร postale: Trento
Codice postale: 38128
Paese: Italia ๐ฎ๐น
Persona di contatto: Alessandra brocca
Telefono: +39 0223996281๐
E-mail: alessandra.brocca@ifn.cnr.it๐ง
Regione: Trento๐๏ธ
URL: www.cnr.it๐
Indirizzo del profilo dell'acquirente: www.cnr.it๐ Comunicazione
URL dei documenti: www.cnr.it๐ Ulteriori informazioni possono essere ottenute da
Nome:
โSISTEMA PER LA RIMOZIONE DI MATERIALI IN PLASMA DELLA TIPOLOGIA RIE Reactive Ion Etchingโ
Numero di registrazione nazionale: A02B3C5E93
Indirizzo postale: VIA SOMMARIVE, 18
Cittร postale: trento
Codice postale: 38128
Paese: Italia ๐ฎ๐น
Persona di contatto: Alessandra Brocca
Telefono: +39 0223996281๐
E-mail: alessandra.brocca@ifn.cn.it๐ง
Fax: +39 0223996126 ๐
Regione: Trento๐๏ธ
URL: www.cnr.it๐
URL dell'acquirente: www.cnr.it๐ Comunicazione
URL di partecipazione: www.acquistinretepa.it๐ Tipo di amministrazione aggiudicatrice
Altro tipo: ente pubblico nazionale
Oggetto Ambito di applicazione dell'appalto
Titolo:
โSISTEMA PER LA RIMOZIONE DI MATERIALI IN PLASMA DELLA TIPOLOGIA RIE Reattive Ion Etching
A02B3C5E93โ
Prodotti/servizi: Ricerca, sperimentazione e simulatori tecnico-scientifici๐ฆ
Breve descrizione:
โFORNITURA, INSTALLAZIONE E MESSA IN FUNZIONE DI UN SISTEMA DI PLASMA ETCHING PER LA RIMOZIONE IN PLASMA DI OSSIDI, OSSI-NITURI E NITURI DI SILICIO,...โ
Breve descrizione
FORNITURA, INSTALLAZIONE E MESSA IN FUNZIONE DI UN SISTEMA DI PLASMA ETCHING PER LA RIMOZIONE IN PLASMA DI OSSIDI, OSSI-NITURI E NITURI DI SILICIO, POLI-SILICIO, DROGATO SU LOTTI DI PRODUZIONE DA 25 WAFER DI SUBSTRATI DA 150 MM PREDISPOSTI PER TRATTARE SUBSTRATI DA 200 MM.
Mostra di piรน
Valore stimato al netto dell'IVA: EUR 850 000 ๐ฐ
1๏ธโฃ
Luogo di esecuzione: Trento๐๏ธ
Sede principale o luogo di esecuzione:
โCNR-IFN TRENTO C/O LABORATORIO CLEANROOM CR D presso la Fondazione Bruno Kessler, Via Sommarie, 18 - 38123 Povo (Trento)โ
Descrizione dell'appalto:
โFORNITURA, INSTALLAZIONE E MESSA IN FUNZIONE DI UN SISTEMA DI PLASMA ETCHING PER LA RIMOZIONE IN PLASMA DI OSSIDI, OSSI-NITURI E NITURI DI SILICIO,...โ
Descrizione dell'appalto
FORNITURA, INSTALLAZIONE E MESSA IN FUNZIONE DI UN SISTEMA DI PLASMA ETCHING PER LA RIMOZIONE IN PLASMA DI OSSIDI, OSSI-NITURI E NITURI DI SILICIO, POLI-SILICIO, DROGATO SU LOTTI DI PRODUZIONE DA 25 WAFER DI SUBSTRATI DA 150 MM PREDISPOSTI PER TRATTARE SUBSTRATI DA 200 MM.
Mostra di piรน Criteri di assegnazione
Criterio di qualitร (nome): Prego tecnico
Criterio di qualitร (ponderazione): 70
Prezzo (ponderazione): 30
Ambito di applicazione dell'appalto
Valore totale stimato, IVA esclusa: EUR 850 000 ๐ฐ
Durata del contratto, dell'accordo quadro o del sistema dinamico di acquisizione Descrizione
Durata: 365
Ambito di applicazione dell'appalto
Informazioni sui fondi dell'Unione Europea:
โPNRR MISSIONE 4 COMPONENTE 2 INVESTIMENTO 3.1 PROGETTO NFFA-DI "NANO FOUNDRIES AND FINE ANALYSIS - DIGITAL INFRASTRUCTURE CUP B53C22004310006โ
Informazioni legali, economiche, finanziarie e tecniche Posizione economica e finanziaria
Criteri di selezione come indicato nei documenti di gara
Capacitร tecnica e professionale
Criteri di selezione come indicato nei documenti di gara
Procedura Tipo di procedura
Procedura aperta
Informazioni amministrative
Termine per la ricezione delle offerte o delle domande di partecipazione: 2023-12-10
17:00 ๐
Lingue in cui possono essere presentate le offerte o le domande di partecipazione: italiano ๐ฃ๏ธ
L'arco di tempo indicato di seguito รจ espresso in numero di mesi.
Periodo di tempo minimo durante il quale l'offerente deve mantenere l'offerta: 6
Condizioni per l'apertura delle offerte: 2023-12-14
11:00 ๐
Condizioni per l'apertura delle offerte (luogo): Piattaforma telematica asp
Informazioni complementari Corpo di revisione
Nome: Tribunale amministrativo regionale del lazio
Indirizzo postale: VIA FLAMINIA, 189
Cittร postale: Roma
Codice postale: 00196
Paese: Italia ๐ฎ๐น
Telefono: +39 06328721๐
E-mail: tarrm-segrprotocolloamm@ga-cert.it๐ง
Fax: +39 32872315 ๐
URL: www.giustiziaammnistrativa.it๐
Fonte: OJS 2023/S 224-706104 (2023-11-16)