sistema per la rimozione di materiali in plasma della tipologia RIE Reactive Ion Etching
ISTITUTO DI FOTONICA E NANOTECNOLOGIE DEL CNR
fornitura, l’installazione e la messa in funzione di un sistema di Plasma Etching per la rimozione in plasma di Ossidi, Ossi-nitruri e Nitruri di silicio, Poli-silicio, drogato e non drogato su lotti di produzione da 25 wafer di substrati da 150 mm, predisposti per trattare substrati da 200 mm. L‘apparecchiatura sarà collocata in modalità through the wall presso la cleanroom DETECTOR della Micro-nano Characterization and Fabrication Facility, Fondazione Bruno Kessler di Trento, in via Sommarive 18.Lo spazio disponibile massimo per l’apparecchiatura è di 1.35 m (larghezza), 2.5 m (profondità), 2.4 m (altezza). Il Concorrente dovrà indicare l’ingombro dell’apparecchiatura, incluse le aree di servizio (clearance) ottimizzando la disposizione all’interno della stessa. Saranno escluse le apparecchiature il cui ingombro eccede l’area disponibile.
ScadenzaIl termine per la ricezione delle offerte era 2023-11-09. L'appalto è stato pubblicato su 2023-10-13.
Chi? Cosa? Dove?
Storia dell'approvvigionamento
| Data | Documento |
|---|---|
| 2023-10-13 | Avviso di gara |
| 2023-11-10 | Avviso di aggiudicazione |
Avviso di gara (2023-10-13)
Oggetto
Ambito di applicazione dell'appalto
Titolo: Ricerca, sperimentazione e simulatori tecnico-scientifici
Numero di riferimento: A01C1D6834
Breve descrizione:
Metadati dell'avviso
Lingua originale: italiano 🗣️
Tipo di documento: Avviso di gara
Natura del contratto: Forniture
Regolamento: Unione Europea
Vocabolario comune per gli appalti (CPV)
Codice: Ricerca, sperimentazione e simulatori tecnico-scientifici 📦
Luogo di esecuzione
Regione NUTS: Trento 🏙️
Procedura
Tipo di procedura: Procedura aperta
Tipo di offerta: Presentazione di un'offerta per tutti i lotti
Criteri di assegnazione
Offerta economicamente più vantaggiosa
Amministrazione aggiudicatrice
Identità
Paese: Italia 🇮🇹
Tipo di amministrazione aggiudicatrice: Altro
Nome dell'amministrazione aggiudicatrice: Istituto di fotonica e nanotecnologie del cnr
Indirizzo postale: Via Sommarive 18
Codice postale: 38128
Città postale: Trento
Contatto
Indirizzo Internet: http://www.cnr.it 🌏
E-mail: alessandra.brocca@ifn.cnr.it 📧
Telefono: +39 0223996281 📞
URL dei documenti: http://www.cnr.it 🌏
URL per la partecipazione: http://www.acquistiinretepa.it 🌏
Riferimento
Date
Data di invio: 2023-10-13 📅
Termine di presentazione: 2023-11-09 📅
Data di pubblicazione: 2023-10-18 📅
Identificatori
Numero dell'avviso: 2023/S 201-629715
Numero GU-S: 201
Oggetto
Ambito di applicazione dell'appalto
Valore totale stimato: 850 000 EUR 💰
Valore stimato al netto dell'IVA: 850 000 EUR 💰
Durata: 365 giorni
Nome del progetto o programma finanziato dall'UE: (PNRR) MISSIONE 4 “Istruzione e Ricerca” COMPONENTE 2 “Dalla ricerca all’impresa” INVESTIMENTO 3.1 “Fondo per la realizzazione di un sistema integrato di infrastrutture di ricerca e innovazione” PROGETTO NFFA-DI ”NANO FOUNDRIES AND FINE ANALYSIS - DIGITAL INFRASTRUCTURE" CUP B53C22004310006
Luogo di esecuzione
Sede principale o luogo di esecuzione:
Procedura
Base giuridica: 32014L0024
Ora di ricezione delle offerte: 17:00
Lingue in cui possono essere presentate le offerte o le domande di partecipazione: italiano 🗣️
Periodo di validità dell'offerta: 6 mesi
Data di apertura delle offerte: 2023-11-10 📅
Ora di apertura delle offerte: 11:00
Luogo: Piattaforma telematica asp
Criteri di assegnazione
Criterio di qualità (nome): pregio tecnico
Criterio di qualità (ponderazione): 70
Prezzo (ponderazione): 30
Amministrazione aggiudicatrice
Identità
Numero di registrazione nazionale: 80054330586
Altro tipo di amministrazione aggiudicatrice: ente pubblico nazionale
Contatto
Referente: Alessandra brocca
Indirizzo Internet: www.cnr.it 🌏
Indirizzo del profilo dell'acquirente: www.cnr.it 🌏
URL dei documenti: www.cnr.it 🌏
URL per la partecipazione: www.acquistiinretepa.it 🌏
URL dei documenti: www.cnr.it 🌏
Informazioni complementari
Corpo di revisione
Nome: Tribunale amministrativo regionale del lazio
Indirizzo postale: VIA FLAMINIA, 189
Città postale: Roma
Codice postale: 00196
Paese: Italia 🇮🇹
Telefono: +39 06328721 📞
E-mail: tarrm-segrprotocolloamm@ga-cert.it 📧
Fax: +39 32872315 📠
Indirizzo Internet: www.giustiziaammnistrativa.it 🌏
Fonte: OJS 2023/S 201-629715 (2023-10-13)
Oggetto
Ambito di applicazione dell'appalto
Titolo: Ricerca, sperimentazione e simulatori tecnico-scientifici
Numero di riferimento: A01C1D6834
Breve descrizione:
fornitura, l’installazione e la messa in funzione di un sistema di Plasma Etching per la rimozione in plasma di Ossidi, Ossi-nitruri e Nitruri di silicio, Poli-silicio, drogato e non drogato su lotti di produzione da 25 wafer di substrati da 150 mm, predisposti per trattare substrati da 200 mm. L‘apparecchiatura sarà collocata in modalità through the wall presso la cleanroom DETECTOR della Micro-nano Characterization and Fabrication Facility, Fondazione Bruno Kessler di Trento, in via Sommarive 18.Lo spazio disponibile massimo per l’apparecchiatura è di 1.35 m (larghezza), 2.5 m (profondità), 2.4 m (altezza). Il Concorrente dovrà indicare l’ingombro dell’apparecchiatura, incluse le aree di servizio (clearance) ottimizzando la disposizione all’interno della stessa. Saranno escluse le apparecchiature il cui ingombro eccede l’area disponibile.
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Lingua originale: italiano 🗣️
Tipo di documento: Avviso di gara
Natura del contratto: Forniture
Regolamento: Unione Europea
Vocabolario comune per gli appalti (CPV)
Codice: Ricerca, sperimentazione e simulatori tecnico-scientifici 📦
Luogo di esecuzione
Regione NUTS: Trento 🏙️
Procedura
Tipo di procedura: Procedura aperta
Tipo di offerta: Presentazione di un'offerta per tutti i lotti
Criteri di assegnazione
Offerta economicamente più vantaggiosa
Amministrazione aggiudicatrice
Identità
Paese: Italia 🇮🇹
Tipo di amministrazione aggiudicatrice: Altro
Nome dell'amministrazione aggiudicatrice: Istituto di fotonica e nanotecnologie del cnr
Indirizzo postale: Via Sommarive 18
Codice postale: 38128
Città postale: Trento
Contatto
Indirizzo Internet: http://www.cnr.it 🌏
E-mail: alessandra.brocca@ifn.cnr.it 📧
Telefono: +39 0223996281 📞
URL dei documenti: http://www.cnr.it 🌏
URL per la partecipazione: http://www.acquistiinretepa.it 🌏
Riferimento
Date
Data di invio: 2023-10-13 📅
Termine di presentazione: 2023-11-09 📅
Data di pubblicazione: 2023-10-18 📅
Identificatori
Numero dell'avviso: 2023/S 201-629715
Numero GU-S: 201
Oggetto
Ambito di applicazione dell'appalto
Valore totale stimato: 850 000 EUR 💰
Valore stimato al netto dell'IVA: 850 000 EUR 💰
Durata: 365 giorni
Nome del progetto o programma finanziato dall'UE: (PNRR) MISSIONE 4 “Istruzione e Ricerca” COMPONENTE 2 “Dalla ricerca all’impresa” INVESTIMENTO 3.1 “Fondo per la realizzazione di un sistema integrato di infrastrutture di ricerca e innovazione” PROGETTO NFFA-DI ”NANO FOUNDRIES AND FINE ANALYSIS - DIGITAL INFRASTRUCTURE" CUP B53C22004310006
Luogo di esecuzione
Sede principale o luogo di esecuzione:
CNR-IFN TRENTO laboratorio Cleanroom CR D presso la Fondazione Bruno Kessler, Via Sommarive 18, 38123 Povo – Trento
modalità di collocazione della strumentazione: throught the wall
Procedura
Base giuridica: 32014L0024
Ora di ricezione delle offerte: 17:00
Lingue in cui possono essere presentate le offerte o le domande di partecipazione: italiano 🗣️
Periodo di validità dell'offerta: 6 mesi
Data di apertura delle offerte: 2023-11-10 📅
Ora di apertura delle offerte: 11:00
Luogo: Piattaforma telematica asp
Criteri di assegnazione
Criterio di qualità (nome): pregio tecnico
Criterio di qualità (ponderazione): 70
Prezzo (ponderazione): 30
Amministrazione aggiudicatrice
Identità
Numero di registrazione nazionale: 80054330586
Altro tipo di amministrazione aggiudicatrice: ente pubblico nazionale
Contatto
Referente: Alessandra brocca
Indirizzo Internet: www.cnr.it 🌏
Indirizzo del profilo dell'acquirente: www.cnr.it 🌏
URL dei documenti: www.cnr.it 🌏
URL per la partecipazione: www.acquistiinretepa.it 🌏
URL dei documenti: www.cnr.it 🌏
Informazioni complementari
Corpo di revisione
Nome: Tribunale amministrativo regionale del lazio
Indirizzo postale: VIA FLAMINIA, 189
Città postale: Roma
Codice postale: 00196
Paese: Italia 🇮🇹
Telefono: +39 06328721 📞
E-mail: tarrm-segrprotocolloamm@ga-cert.it 📧
Fax: +39 32872315 📠
Indirizzo Internet: www.giustiziaammnistrativa.it 🌏
Fonte: OJS 2023/S 201-629715 (2023-10-13)
Avviso di aggiudicazione (2023-11-10)
Oggetto
Ambito di applicazione dell'appalto
Breve descrizione:
Metadati dell'avviso
Tipo di documento: Avviso di aggiudicazione
Procedura
Tipo di offerta: Non applicabile
Riferimento
Date
Data di invio: 2023-11-10 📅
Data di pubblicazione: 2023-11-15 📅
Identificatori
Numero dell'avviso: 2023/S 220-692669
Si riferisce all'avviso: 2023/S 201-629715
Numero GU-S: 220
Informazioni aggiuntive
LA GARA E' ANDATA DESERTA IN QUANTO NON SONO PERVENUTE OFFERTE
Oggetto
Ambito di applicazione dell'appalto
Breve descrizione:
Fonte: OJS 2023/S 220-692669 (2023-11-10)
Oggetto
Ambito di applicazione dell'appalto
Breve descrizione:
GARA DESERTA PER MANCANZA DI OFFERTE
fornitura, l’installazione e la messa in funzione di un sistema di Plasma Etching per la rimozione in plasma di Ossidi, Ossi-nitruri e Nitruri di silicio, Poli-silicio, drogato e non drogato su lotti di produzione da 25 wafer di substrati da 150 mm, predisposti per trattare substrati da 200 mm. L‘apparecchiatura sarà collocata in modalità through the wall presso la cleanroom DETECTOR della Micro-nano Characterization and Fabrication Facility, Fondazione Bruno Kessler di Trento, in via Sommarive 18.Lo spazio disponibile massimo per l’apparecchiatura è di 1.35 m (larghezza), 2.5 m (profondità), 2.4 m (altezza). Il Concorrente dovrà indicare l’ingombro dell’apparecchiatura, incluse le aree di servizio (clearance) ottimizzando la disposizione all’interno della stessa. Saranno escluse le apparecchiature il cui ingombro eccede l’area disponibile.
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Tipo di documento: Avviso di aggiudicazione
Procedura
Tipo di offerta: Non applicabile
Riferimento
Date
Data di invio: 2023-11-10 📅
Data di pubblicazione: 2023-11-15 📅
Identificatori
Numero dell'avviso: 2023/S 220-692669
Si riferisce all'avviso: 2023/S 201-629715
Numero GU-S: 220
Informazioni aggiuntive
LA GARA E' ANDATA DESERTA IN QUANTO NON SONO PERVENUTE OFFERTE
Oggetto
Ambito di applicazione dell'appalto
Breve descrizione:
GARA DESERTA PER MANCANZA DI OFFERTE
GARA DESERTA - NESSUNA OFFERTA PRESENTATA
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