F6025 - PROCEDURA APERTA PER LAFFIDAMENTO DELLA FORNITURA DI UN SISTEMA DI ATOMIC LAYER DEPOSITION (ALD) PER LA DEPOSIZIONE DI MATERIALI A FILM SOTTILE PER LA FABBRICAZIONE DI DISPOSITIVI ELETTRONICI.
UNIVERSITA' DEGLI STUDI DI MODENA E REGGIO EMILIA
F6025 - PROCEDURA APERTA PER LAFFIDAMENTO DELLA FORNITURA DI UN SISTEMA DI ATOMIC LAYER DEPOSITION (ALD) PER LA DEPOSIZIONE DI MATERIALI A FILM SOTTILE PER LA FABBRICAZIONE DI DISPOSITIVI ELETTRONICI.
ScadenzaIl termine per la ricezione delle offerte era 2025-12-16. L'appalto è stato pubblicato su 2025-11-11.
Chi? Cosa? Dove?- • Emilia-Romagna › Modena
Storia dell'approvvigionamento
| Data | Documento |
|---|---|
| 2025-11-11 | Avviso di gara |
Avviso di gara (2025-11-11)
Oggetto
Ambito di applicazione dell'appalto
Titolo: F6025 - PROCEDURA APERTA PER LAFFIDAMENTO DELLA FORNITURA DI UN SISTEMA DI ATOMIC LAYER DEPOSITION (ALD) PER LA DEPOSIZIONE DI MATERIALI A FILM SOTTILE PER LA FABBRICAZIONE DI DISPOSITIVI ELETTRONICI.
Breve descrizione:
Prodotti/servizi: Ricerca, sperimentazione e simulatori tecnico-scientifici 📦
Valore stimato al netto dell'IVA: 393 000 EUR 💰
Descrizione
Località: Modena - Dipartimento di Scienze Fisiche, Informatiche e Matematiche - Via Giuseppe Campi 213 /A - Lab MO-17-00-017 MODENA (MO)
Paese: Italia 🇮🇹
Luogo di esecuzione: Modena 🏙️
Durata: 180 giorni
Informazioni sulle opzioni
Opzioni ✅
Descrizione delle opzioni:
Informazioni sui cataloghi elettronici
Le offerte devono essere presentate sotto forma di cataloghi elettronici o includere un catalogo elettronico
Criteri di assegnazione
Criterio di qualità (nome): Massimo Spessore Substrato
Criterio di qualità (ponderazione): 8
Criterio di qualità (nome): Numero di Contenitori per ciascuna linea sia per contenitori ad alta che a bassa pressione di vapore
Numero di linee di sorgenti riscaldate per precursori a bassa pressione di vapore dotati di camicia riscaldata
Criterio di qualità (ponderazione): 4
Criterio di qualità (nome): Temperatura massima di deposizione nella camera di reazione
Numero di contenitori da 200 ml per precursori a bassa e alta pressione di vapore (fino a 8 contenitori)
Risultati positivi del test di Accettazione in Fabbrica
Risultati positivi del test di accettazione eseguito presso l'Università di Modena e Reggio Emilia
Camera di reazione aggiuntiva per campioni di piccole dimensioni
Criterio di qualità (ponderazione): 1
Criterio di qualità (nome): Modalità ALD all'ozono disponibile
Numero di contenitori aggiuntivi (da 9 a 12)
Criterio di qualità (ponderazione): 2
Criterio di qualità (nome): Presenza di sistema Loadlock per il caricamento dei campioni
Fornitura di materiali precursori per il test di accettazione
Test di deposizione dell'ossido di titanio
Pompa a secco aggiuntiva
Durata della garanzia > 12 mesi
Criterio di qualità (ponderazione): 3
Criterio di qualità (nome): Possibilità di futuri aggiornamenti dell'hardware e del software di controllo
Facile accesso ai componenti interni per la manutenzione e la sostituzione dei contenitori
Dimensioni massime del sistema
Prezzo ✅
Prezzo (ponderazione): 30
Titolo
Numero di identificazione del lotto:
Procedura
Tipo di procedura
Procedura aperta ✅
Base giuridica: Direttiva 2014/24/UE
Informazioni amministrative
Termine per la ricezione delle offerte o delle domande di partecipazione: 2025-12-16 12:00:00 📅
Lingue in cui possono essere presentate le offerte o le domande di partecipazione: italiano 🗣️
Periodo di tempo minimo durante il quale l'offerente deve mantenere l'offerta: 180 giorni
Condizioni di gara
Catalogo elettronico: Consentita
Fatturazione elettronica: Obbligatoria
Verrà utilizzato il pagamento elettronico ✅
Criteri di assegnazione
Tipo di ponderazione: Ponderazione (percentuale, esatta)
Condizioni di gara
L'appalto contiene condizioni di esecuzione ✅
Informazioni legali, economiche, finanziarie e tecniche
Condizioni di partecipazione
Principali condizioni di finanziamento e modalità di pagamento e/o riferimento alle disposizioni pertinenti che le regolano: Vedi documentazione di gara
Amministrazione aggiudicatrice
Nome e indirizzi
Nome: Universita' degli studi di modena e reggio emilia
Numero di registrazione nazionale:
Indirizzo postale: Via Università n. 4
Codice postale: 41100
Città postale: Modena (mo)
Regione: Modena 🏙️
Paese: Italia 🇮🇹
E-mail: areacontratti@pec.unimore.it 📧
Telefono: 059 2058351 - 059 2058358 - 05 📞
Indirizzo del profilo dell'acquirente: www.aicg.unimore.it 🌏
Tipo di amministrazione aggiudicatrice
Organismo di diritto pubblico
Attività principale
Istruzione
Comunicazione
URL dei documenti: https://unimore.ubuy.cineca.it/PortaleAppalti/it/procedure/codice/G00572 🌏
URL di partecipazione: https://unimore.ubuy.cineca.it/PortaleAppalti/it/procedure/codice/G00572 🌏
Presentazione elettronica delle offerte: Consentita
Informazioni complementari
Corpo di revisione
Uguale a: Nome e indirizzi
Procedura di revisione
Informazioni precise sulle scadenze delle procedure di revisione: Entro 30 giorni dalla pubblicazione del bando
Informazioni sui flussi di lavoro elettronici
Sarà accettata la fatturazione elettronica
Fonte: OJS 2025/S 219-753092 (2025-11-11)
Oggetto
Ambito di applicazione dell'appalto
Titolo: F6025 - PROCEDURA APERTA PER LAFFIDAMENTO DELLA FORNITURA DI UN SISTEMA DI ATOMIC LAYER DEPOSITION (ALD) PER LA DEPOSIZIONE DI MATERIALI A FILM SOTTILE PER LA FABBRICAZIONE DI DISPOSITIVI ELETTRONICI.
Breve descrizione:
F6025 - PROCEDURA APERTA PER LAFFIDAMENTO DELLA FORNITURA DI UN SISTEMA DI ATOMIC LAYER DEPOSITION (ALD) PER LA DEPOSIZIONE DI MATERIALI A FILM SOTTILE PER LA FABBRICAZIONE DI DISPOSITIVI ELETTRONICI.
Tipo di contratto: Forniture
Prodotti/servizi: Ricerca, sperimentazione e simulatori tecnico-scientifici 📦
Valore stimato al netto dell'IVA: 393 000 EUR 💰
Descrizione
Località: Modena - Dipartimento di Scienze Fisiche, Informatiche e Matematiche - Via Giuseppe Campi 213 /A - Lab MO-17-00-017 MODENA (MO)
Paese: Italia 🇮🇹
Luogo di esecuzione: Modena 🏙️
Durata: 180 giorni
Informazioni sulle opzioni
Opzioni ✅
Descrizione delle opzioni:
La stazione appaltante si riserva di modificare il contratto del soggetto aggiudicatario per eventuali estensioni o integrazioni del sistema oggetto dellappalto, per un importo massimo complessivo di Euro 100.000,00 Iva eslcusa e per una durata massima di 12 mesi dalla stipula del contratto, senza necessità di avviare una nuova procedura di gara. Tale importo potrà essere utilizzato per interventi strettamente correlati alle prestazioni principali, nel rispetto della normativa vigente sugli appalti pubblici.
Mostra di più
Le offerte devono essere presentate sotto forma di cataloghi elettronici o includere un catalogo elettronico
Criteri di assegnazione
Criterio di qualità (nome): Massimo Spessore Substrato
Criterio di qualità (ponderazione): 8
Criterio di qualità (nome): Numero di Contenitori per ciascuna linea sia per contenitori ad alta che a bassa pressione di vapore
Numero di linee di sorgenti riscaldate per precursori a bassa pressione di vapore dotati di camicia riscaldata
Criterio di qualità (ponderazione): 4
Criterio di qualità (nome): Temperatura massima di deposizione nella camera di reazione
Numero di contenitori da 200 ml per precursori a bassa e alta pressione di vapore (fino a 8 contenitori)
Risultati positivi del test di Accettazione in Fabbrica
Risultati positivi del test di accettazione eseguito presso l'Università di Modena e Reggio Emilia
Camera di reazione aggiuntiva per campioni di piccole dimensioni
Criterio di qualità (ponderazione): 1
Criterio di qualità (nome): Modalità ALD all'ozono disponibile
Numero di contenitori aggiuntivi (da 9 a 12)
Criterio di qualità (ponderazione): 2
Criterio di qualità (nome): Presenza di sistema Loadlock per il caricamento dei campioni
Fornitura di materiali precursori per il test di accettazione
Test di deposizione dell'ossido di titanio
Pompa a secco aggiuntiva
Durata della garanzia > 12 mesi
Criterio di qualità (ponderazione): 3
Criterio di qualità (nome): Possibilità di futuri aggiornamenti dell'hardware e del software di controllo
Facile accesso ai componenti interni per la manutenzione e la sostituzione dei contenitori
Dimensioni massime del sistema
Prezzo ✅
Prezzo (ponderazione): 30
Titolo
Numero di identificazione del lotto:
LOT-0001
Procedura
Tipo di procedura
Procedura aperta ✅
Base giuridica: Direttiva 2014/24/UE
Informazioni amministrative
Termine per la ricezione delle offerte o delle domande di partecipazione: 2025-12-16 12:00:00 📅
Lingue in cui possono essere presentate le offerte o le domande di partecipazione: italiano 🗣️
Periodo di tempo minimo durante il quale l'offerente deve mantenere l'offerta: 180 giorni
Condizioni di gara
Catalogo elettronico: Consentita
Fatturazione elettronica: Obbligatoria
Verrà utilizzato il pagamento elettronico ✅
Criteri di assegnazione
Tipo di ponderazione: Ponderazione (percentuale, esatta)
Condizioni di gara
L'appalto contiene condizioni di esecuzione ✅
Informazioni legali, economiche, finanziarie e tecniche
Condizioni di partecipazione
Principali condizioni di finanziamento e modalità di pagamento e/o riferimento alle disposizioni pertinenti che le regolano: Vedi documentazione di gara
Amministrazione aggiudicatrice
Nome e indirizzi
Nome: Universita' degli studi di modena e reggio emilia
Numero di registrazione nazionale:
00427620364
Indirizzo postale: Via Università n. 4
Codice postale: 41100
Città postale: Modena (mo)
Regione: Modena 🏙️
Paese: Italia 🇮🇹
E-mail: areacontratti@pec.unimore.it 📧
Telefono: 059 2058351 - 059 2058358 - 05 📞
Indirizzo del profilo dell'acquirente: www.aicg.unimore.it 🌏
Tipo di amministrazione aggiudicatrice
Organismo di diritto pubblico
Attività principale
Istruzione
Comunicazione
URL dei documenti: https://unimore.ubuy.cineca.it/PortaleAppalti/it/procedure/codice/G00572 🌏
URL di partecipazione: https://unimore.ubuy.cineca.it/PortaleAppalti/it/procedure/codice/G00572 🌏
Presentazione elettronica delle offerte: Consentita
Informazioni complementari
Corpo di revisione
Uguale a: Nome e indirizzi
Procedura di revisione
Informazioni precise sulle scadenze delle procedure di revisione: Entro 30 giorni dalla pubblicazione del bando
Informazioni sui flussi di lavoro elettronici
Sarà accettata la fatturazione elettronica
Fonte: OJS 2025/S 219-753092 (2025-11-11)
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