F6025 - PROCEDURA APERTA PER LAFFIDAMENTO DELLA FORNITURA DI UN SISTEMA DI ATOMIC LAYER DEPOSITION (ALD) PER LA DEPOSIZIONE DI MATERIALI A FILM SOTTILE PER LA FABBRICAZIONE DI DISPOSITIVI ELETTRONICI.

Avviso di gara (2025-11-11)
Oggetto
Ambito di applicazione dell'appalto
Titolo: F6025 - PROCEDURA APERTA PER LAFFIDAMENTO DELLA FORNITURA DI UN SISTEMA DI ATOMIC LAYER DEPOSITION (ALD) PER LA DEPOSIZIONE DI MATERIALI A FILM SOTTILE PER LA FABBRICAZIONE DI DISPOSITIVI ELETTRONICI.
Breve descrizione:
“F6025 - PROCEDURA APERTA PER LAFFIDAMENTO DELLA FORNITURA DI UN SISTEMA DI ATOMIC LAYER DEPOSITION (ALD) PER LA DEPOSIZIONE DI MATERIALI A FILM SOTTILE PER...”    Mostra di più
Tipo di contratto: Forniture
Prodotti/servizi: Ricerca, sperimentazione e simulatori tecnico-scientifici 📦
Valore stimato al netto dell'IVA: 393 000 EUR 💰
Descrizione
Descrizione dell'appalto:
“F6025 - PROCEDURA APERTA PER LAFFIDAMENTO DELLA FORNITURA DI UN SISTEMA DI ATOMIC LAYER DEPOSITION (ALD) PER LA DEPOSIZIONE DI MATERIALI A FILM SOTTILE PER...”    Mostra di più
Luogo di esecuzione: Modena 🏙️
Durata: 180 (DAY)
Informazioni sulle opzioni
Opzioni ✅
Descrizione delle opzioni:
“La stazione appaltante si riserva di modificare il contratto del soggetto aggiudicatario per eventuali estensioni o integrazioni del sistema oggetto...”    Mostra di più
Informazioni sui cataloghi elettronici
Le offerte devono essere presentate sotto forma di cataloghi elettronici o includere un catalogo elettronico
Criteri di assegnazione
Criterio di qualità (nome): Massimo Spessore Substrato
Criterio di qualità (ponderazione): 8
Criterio di qualità (nome): Numero di Contenitori per ciascuna linea sia per contenitori ad alta che a bassa pressione di vapore
Criterio di qualità (nome): Numero di linee di sorgenti riscaldate per precursori a bassa pressione di vapore dotati di camicia riscaldata
Criterio di qualità (ponderazione): 4
Criterio di qualità (nome): Temperatura massima di deposizione nella camera di reazione
Criterio di qualità (nome): Numero di contenitori da 200 ml per precursori a bassa e alta pressione di vapore (fino a 8 contenitori)
Criterio di qualità (nome): Risultati positivi del test di Accettazione in Fabbrica
Criterio di qualità (nome): Risultati positivi del test di accettazione eseguito presso l'Università di Modena e Reggio Emilia
Criterio di qualità (nome): Camera di reazione aggiuntiva per campioni di piccole dimensioni
Criterio di qualità (ponderazione): 1
Criterio di qualità (nome): Modalità ALD all'ozono disponibile
Criterio di qualità (nome): Numero di contenitori aggiuntivi (da 9 a 12)
Criterio di qualità (ponderazione): 2
Criterio di qualità (nome): Presenza di sistema Loadlock per il caricamento dei campioni
Criterio di qualità (nome): Fornitura di materiali precursori per il test di accettazione
Criterio di qualità (nome): Test di deposizione dell'ossido di titanio
Criterio di qualità (nome): Pompa a secco aggiuntiva
Criterio di qualità (nome): Durata della garanzia > 12 mesi
Criterio di qualità (ponderazione): 3
Criterio di qualità (nome): Possibilità di futuri aggiornamenti dell'hardware e del software di controllo
Criterio di qualità (nome): Facile accesso ai componenti interni per la manutenzione e la sostituzione dei contenitori
Criterio di qualità (nome): Dimensioni massime del sistema
Prezzo ✅
Prezzo (ponderazione): 30
Titolo
Numero di identificazione del lotto: LOT-0001

Procedura
Tipo di procedura
Procedura aperta ✅
Informazioni amministrative
Termine per la ricezione delle offerte o delle domande di partecipazione: 2025-12-16 12:00:00 📅
Lingue in cui possono essere presentate le offerte o le domande di partecipazione: italiano 🗣️
Periodo di tempo minimo durante il quale l'offerente deve mantenere l'offerta: 180

Informazioni legali, economiche, finanziarie e tecniche
Condizioni di partecipazione
Principali condizioni di finanziamento e modalità di pagamento e/o riferimento alle disposizioni pertinenti che le regolano:
“Vedi documentazione di gara”

Amministrazione aggiudicatrice
Nome e indirizzi
Nome: Universita' degli studi di modena e reggio emilia
Numero di registrazione nazionale: 00427620364
Indirizzo postale: Via Università n. 4
Codice postale: 41100
Città postale: Modena (mo)
Regione: Modena 🏙️
Paese: Italia 🇮🇹
E-mail: areacontratti@pec.unimore.it 📧
Telefono: 059 2058351 - 059 2058358 - 05 📞
Indirizzo del profilo dell'acquirente: www.aicg.unimore.it 🌏
Tipo di amministrazione aggiudicatrice
Organismo di diritto pubblico
Attività principale
Istruzione
Comunicazione
URL dei documenti: https://unimore.ubuy.cineca.it/PortaleAppalti/it/procedure/codice/G00572 🌏
URL di partecipazione: https://unimore.ubuy.cineca.it/PortaleAppalti/it/procedure/codice/G00572 🌏

Informazioni complementari
Corpo di revisione
Nome: Universita' degli studi di modena e reggio emilia
Numero di registrazione nazionale: 00427620364
Indirizzo postale: Via Università n. 4
Codice postale: 41100
Città postale: Modena (mo)
Regione: Modena 🏙️
Paese: Italia 🇮🇹
E-mail: areacontratti@pec.unimore.it 📧
Telefono: 059 2058351 - 059 2058358 - 05 📞
Servizio presso il quale è possibile ottenere informazioni sulla procedura di riesame
Nome: Universita' degli studi di modena e reggio emilia
Numero di registrazione nazionale: 00427620364
Indirizzo postale: Via Università n. 4
Codice postale: 41100
Città postale: Modena (mo)
Regione: Modena 🏙️
Paese: Italia 🇮🇹
E-mail: areacontratti@pec.unimore.it 📧
Telefono: 059 2058351 - 059 2058358 - 05 📞
Procedura di revisione
Informazioni precise sulle scadenze delle procedure di revisione:
“Entro 30 giorni dalla pubblicazione del bando”
Informazioni sui flussi di lavoro elettronici
Sarà accettata la fatturazione elettronica
Verrà utilizzato il pagamento elettronico
Fonte: OJS 2025/S 219-753092 (2025-11-11)