Fornitura di attrezzature scientifiche per il potenziamento della micro nano facility della Fondazione Bruno Kessler

Fondazione Bruno Kessler

Fornitura di attrezzature per il potenziamento della facility di micro-nanofabbricazione del centro materiali e microsistemi nell'ambito del progetto «Key enabling technologies Facility in Trento» finanziato all'interno del programma operativo FESR 2014-2020 con il cofinanziamento dell'Unione europea — Fondo europeo di sviluppo regionale, dello Stato italiano e della Provincia autonoma di Trento.

Scadenza

Il termine per la ricezione delle offerte era 2018-07-11. L'appalto è stato pubblicato su 2018-05-28.

Fornitori

I seguenti fornitori sono menzionati nelle decisioni di aggiudicazione o in altri documenti di appalto:

Chi?

• Fondazione Bruno Kessler

Cosa?

Dove?

• Provincia Autonoma di Trento › Trento

Storia dell'approvvigionamento

Data	Documento
2018-05-28	Avviso di gara
2018-09-13	Avviso di aggiudicazione

Avviso di gara (2018-05-28)
Oggetto
Ambito di applicazione dell'appalto
Titolo: Ricerca, sperimentazione e simulatori tecnico-scientifici
Breve descrizione:

Metadati dell'avviso
Lingua originale: italiano 🗣️
Tipo di documento: Avviso di gara
Natura del contratto: Forniture
Regolamento: Unione Europea, con partecipazione AAP
Vocabolario comune per gli appalti (CPV)
Codice: Ricerca, sperimentazione e simulatori tecnico-scientifici 📦
Codice CPV supplementare: Ricerca, sperimentazione e simulatori tecnico-scientifici 📦
Microscopi 📦
Luogo di esecuzione
Regione NUTS: Trento 🏙️

Procedura
Tipo di procedura: Procedura aperta
Tipo di offerta: Presentazione di un'offerta per tutti i lotti
Criteri di assegnazione
Offerta economicamente più vantaggiosa

Amministrazione aggiudicatrice
Identità
Paese: Italia 🇮🇹
Tipo di amministrazione aggiudicatrice: Organismo di diritto pubblico
Nome dell'amministrazione aggiudicatrice: Fondazione Bruno Kessler
Indirizzo postale: Via S. Croce 77
Codice postale: 38122
Città postale: Trento
Contatto
Indirizzo Internet: http://www.fbk.eu 🌏
E-mail: gare@fbk.eu 📧
URL dei documenti: https://goo.gl/CZVMGm 🌏

Riferimento
Date
Data di invio: 2018-05-28 📅
Termine di presentazione: 2018-07-11 📅
Data di pubblicazione: 2018-05-31 📅
Identificatori
Numero dell'avviso: 2018/S 102-232601
Numero GU-S: 102

Oggetto
Ambito di applicazione dell'appalto
Valore totale stimato: 5 050 000 EUR 💰
Numero massimo di lotti aggiudicati a un offerente: 5
Denominazione del lotto: Plasma etching
Numero del lotto: 1
Breve descrizione:

Sistemi di plasma etching per la rimozione in plasma di ossidi, ossi-nitruri e nitruri di silicio, carburo di silicio (SIC), silicio amorfo, alluminio, nitruro di titanio, poli-silicio, drogato e non drogato su lotti di produzione da 25 wafer di substrati da 150 mm, predisposti per trattare substrati da 200 mm.

Valore stimato al netto dell'IVA: 1 900 000 EUR 💰
Durata: 300 giorni
Nome del progetto o programma finanziato dall'UE: Programma Operativo 2014-2020 FESR della Provincia autonoma di Trento
Denominazione del lotto: FIB-SEM (Focused Ion Beam-Scanning Electron Microscope)
Numero del lotto: 2
Breve descrizione:

Sistema integrato FIB-SEM (Focused Ion Beam-Scanning Electron Microscope) per la nanofabbricazione, esplicitata nei processi di: erosione/sputtering (milling) mediante fasci energetici focalizzati di ioni (FIB); deposizione ed etching mediante precursori gassosi coadiuvati dall’energia deposta da fascio ionico e/o elettronico; litografia da fascio elettronico (electron beam lithography, EBL) da condurre su strati di resist opportuno; caratterizzazione delle nanostrutture mediante immagini di elettroni prodotte tramite una colonna/microscopio elettronico (SEM) integrata nel sistema.

Valore stimato al netto dell'IVA: 1 200 000 EUR 💰
Denominazione del lotto: ICP-PECVD (Inductively Coupled Plasma-Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition System)
Numero del lotto: 3
Breve descrizione:

Sistema ICP-PECVD (Inductively Coupled Plasma-Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition System) per la deposizione assistita in plasma di ossidi (SiO2), ossi-nitruri (SixOyNz) e nitruri di silicio (Si3N4), silicio amorfo, TEOS conformale, su lotti di produzione da 25 wafer con spessori indicativi di 500 nm.

Valore stimato al netto dell'IVA: 800 000 EUR 💰
Denominazione del lotto: Sistema multitarget
Numero del lotto: 4
Breve descrizione:

Sistema multitarget per la deposizione mediante RF/DC cosputtering di film sottili. Il sistema consentirà a FBK di ampliare la gamma di possibilità oggi limitate al solo alluminio e titanio e di ottenere maggiore stabilità e affidabilità delle caratteristiche di adesione dei materiali.

Valore stimato al netto dell'IVA: 900 000 EUR 💰
Denominazione del lotto: Prober automatico
Numero del lotto: 5
Breve descrizione:

Sistema prober automatico da integrare come slave in un sistema di misura parametrico-funzionale esistente per consentire di movimentare in maniera automatica la fetta di silicio, una volta conclusa la fase realizzativa dei dispositivi, permettendo il controllo funzionale di tutti i dispositivi realizzati e ivi presenti.

Valore stimato al netto dell'IVA: 250 000 EUR 💰

Informazioni legali, economiche, finanziarie e tecniche
Condizioni di partecipazione
Abilitazione all'esercizio dell'attività professionale: Vedi Disciplinare di gara.
Posizione economica e finanziaria: Non richiesti.
Esecuzione dell'appalto
Condizioni di esecuzione del contratto: Vedi capitolato speciale di appalto per ciascun lotto.

Procedura
Ora di ricezione delle offerte: 16:00
Lingue in cui possono essere presentate le offerte o le domande di partecipazione: italiano 🗣️
Periodo di validità dell'offerta: 6 mesi
Data di apertura delle offerte: 2018-07-12 📅
Ora di apertura delle offerte: 11:00
Luogo: Via Sommarive 18, 38123 Trento, c/o sede del polo scientifico e tecnologico della Fondazione Bruno Kessler.

Amministrazione aggiudicatrice
Contatto
Indirizzo Internet: www.fbk.eu 🌏
URL dei documenti: https://goo.gl/CZVMGm 🌏
Nome dell'amministrazione aggiudicatrice: FBK — sede del polo scientifico e tecnologico
Indirizzo postale: Via Sommarive 18
Codice postale: 38123
Paese: Trento 🏙️

Informazioni complementari
Corpo di revisione
Nome: Tribunale Regionale di Giustizia Amministrativa del Trentino-Alto Adige, sede di Trento
Indirizzo postale: Via Calepina 50
Città postale: Trento
Codice postale: 38122
Paese: Italia 🇮🇹
Informazioni sui termini di presentazione di ricorso: Termini di cui al D.Lgs. 104/2010 — Codice del processo amministrativo.
Fonte: OJS 2018/S 102-232601 (2018-05-28)

Avviso di aggiudicazione (2018-09-13)
Oggetto
Ambito di applicazione dell'appalto
Breve descrizione:

Fornitura di attrezzature per il potenziamento della Facility di micro-nano-fabbricazione del Centro Materiali e Microsistemi nell'ambito del progetto «Key enabling technologies Facility in Trento» finanziato all'interno del Programma operativo FESR 2014-2020 con il cofinanziamento dell'Unione europea — Fondo europeo di sviluppo regionale, dello Stato italiano e della Provincia autonoma di Trento.

Valore totale dell'appalto: 4 803 874 EUR 💰
Metadati dell'avviso
Tipo di documento: Avviso di aggiudicazione

Procedura
Tipo di offerta: Non applicabile

Riferimento
Date
Data di invio: 2018-09-13 📅
Data di pubblicazione: 2018-09-14 📅
Identificatori
Numero dell'avviso: 2018/S 177-401067
Si riferisce all'avviso: 2018/S 102-232601
Numero GU-S: 177

Oggetto
Ambito di applicazione dell'appalto
Denominazione del lotto: Plasma Etching
Breve descrizione:

Sistemi di Plasma Etching per la rimozione in plasma di ossidi, ossi-nitruri e nitruri di silicio, carburo di silicio (SIC), silicio amorfo, alluminio, nitruro di titanio, poli-silicio, drogato e non drogato su lotti di produzione da 25 wafer di substrati da 150 mm, predisposti per trattare substrati da 200 mm.

Denominazione del lotto: FIB-SEM (Focused Ion Beam – Scanning Electron Microscope)
Breve descrizione:

Sistema integrato FIB-SEM (Focused Ion Beam – Scanning Electron Microscope) per la nano-fabbricazione, esplicitata nei processi di: erosione/sputtering (milling) mediante fasci energetici focalizzati di ioni (FIB); deposizione ed etching mediante precursori gassosi coadiuvati dall’energia deposta da fascio ionico e/o elettronico; litografia da fascio elettronico (electron beam lithography, EBL) da condurre su strati di resist opportuno; caratterizzazione delle nanostrutture mediante immagini di elettroni prodotte tramite una colonna/ microscopio elettronico (SEM) integrata nel sistema.

Sistema ICP-PECVD (Inductively Coupled Plasma-Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition System) per la deposizione assistita in plasma di ossidi (SiO2), Ossi-nitruri (SixOyNz) e Nitruri di silicio (Si3N4), Silicio amorfo, TEOS conformale, su lotti di produzione da 25 wafer con spessori indicativi di 500 nm.

Denominazione del lotto: Sistema multi-target
Breve descrizione:

Sistema multi-target per la deposizione mediante RF/DC co-sputtering di film sottili. Il sistema consentirà a FBK di ampliare la gamma di possibilità oggi limitate al solo alluminio e titanio e di ottenere maggiore stabilità e affidabilità delle caratteristiche di adesione dei materiali.

Sistema Prober automatico da integrare come slave in un sistema di misura parametrico-funzionale esistente per consentire di movimentare in maniera automatica la fetta di silicio, una volta conclusa la fase realizzativa dei dispositivi, permettendo il controllo funzionale di tutti i dispositivi realizzati e ivi presenti.

Procedura
Criteri di assegnazione
Criterio di qualità (nome): Offerta tecnica
Criterio di qualità (ponderazione): 80
Prezzo (ponderazione): 20

Aggiudicazione del contratto
Data di conclusione del contratto: 2018-09-12 📅
Nome: Gambetti Kenologia S.r.l.
Città postale: Binasco (Milano)
Paese: Italia 🇮🇹
Milano 🏙️
Valore totale dell'appalto: 1 869 600 EUR 💰
Nome: Raith GmbH
Città postale: Dortmund
Paese: Germania 🇩🇪
Dortmund, Kreisfreie Stadt 🏙️
Valore totale dell'appalto: 1 100 000 EUR 💰
787 200 EUR 💰
Nome: Kenosistec S.r.l.
Valore totale dell'appalto: 830 000 EUR 💰
Nome: Accretech Europe GmbH
Città postale: Munchen
Paese: München, Kreisfreie Stadt 🏙️
Valore totale dell'appalto: 217 074 EUR 💰
Informazioni sulle gare d'appalto
Numero di offerte ricevute: 2
1
3

Informazioni complementari
Corpo di revisione
Nome: Tribunale Regionale di Giustizia amministrativa del Trentino Alto Adige — sede di Trento
Informazioni sui termini di presentazione di ricorso: Termini di cui al D.Lgs. 104/2010 Codice del processo amministrativo.
Fonte: OJS 2018/S 177-401067 (2018-09-13)

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