Fornitura di attrezzature per il potenziamento della facility di micro-nanofabbricazione del centro materiali e microsistemi nell'ambito del progetto «Key enabling technologies Facility in Trento» finanziato all'interno del programma operativo FESR 2014-2020 con il cofinanziamento dell'Unione europea — Fondo europeo di sviluppo regionale, dello Stato italiano e della Provincia autonoma di Trento.
Scadenza
Il termine per la ricezione delle offerte era 2018-07-11.
L'appalto è stato pubblicato su 2018-05-28.
Fornitori
I seguenti fornitori sono menzionati nelle decisioni di aggiudicazione o in altri documenti di appalto:
Avviso di aggiudicazione (2018-09-13) Amministrazione aggiudicatrice Nome e indirizzi
Nome: Fondazione Bruno Kessler
Indirizzo postale: Via S. Croce 77
Città postale: Trento
Codice postale: 38122
Paese: Italia 🇮🇹
E-mail: gare@fbk.eu📧
Regione: Trento🏙️
URL: www.fbk.eu🌏
Oggetto Ambito di applicazione dell'appalto
Titolo:
“Fornitura di attrezzature scientifiche per il potenziamento della micro nano facility della Fondazione Bruno Kessler”
Prodotti/servizi: Ricerca, sperimentazione e simulatori tecnico-scientifici📦
Breve descrizione:
“Fornitura di attrezzature per il potenziamento della Facility di micro-nano-fabbricazione del Centro Materiali e Microsistemi nell'ambito del progetto «Key...”
Breve descrizione
Fornitura di attrezzature per il potenziamento della Facility di micro-nano-fabbricazione del Centro Materiali e Microsistemi nell'ambito del progetto «Key enabling technologies Facility in Trento» finanziato all'interno del Programma operativo FESR 2014-2020 con il cofinanziamento dell'Unione europea — Fondo europeo di sviluppo regionale, dello Stato italiano e della Provincia autonoma di Trento.
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Valore totale dell'appalto (IVA esclusa): EUR 4 803 874 💰
Informazioni sui lotti
Questo contratto è suddiviso in lotti ✅
1️⃣ Ambito di applicazione dell'appalto
Titolo: Plasma Etching
Titolo
Numero di identificazione del lotto: 1
Descrizione
Prodotti/servizi aggiuntivi: Ricerca, sperimentazione e simulatori tecnico-scientifici📦
Luogo di esecuzione: Trento🏙️
Descrizione dell'appalto:
“Sistemi di Plasma Etching per la rimozione in plasma di ossidi, ossi-nitruri e nitruri di silicio, carburo di silicio (SIC), silicio amorfo, alluminio,...”
Descrizione dell'appalto
Sistemi di Plasma Etching per la rimozione in plasma di ossidi, ossi-nitruri e nitruri di silicio, carburo di silicio (SIC), silicio amorfo, alluminio, nitruro di titanio, poli-silicio, drogato e non drogato su lotti di produzione da 25 wafer di substrati da 150 mm, predisposti per trattare substrati da 200 mm.
Mostra di più Criteri di assegnazione
Criterio di qualità (nome): Offerta tecnica
Criterio di qualità (ponderazione): 80
Prezzo (ponderazione): 20
Ambito di applicazione dell'appalto
Informazioni sui fondi dell'Unione Europea: Programma Operativo 2014-2020 FESR della Provincia autonoma di Trento
2️⃣ Ambito di applicazione dell'appalto
Titolo: FIB-SEM (Focused Ion Beam – Scanning Electron Microscope)
Titolo
Numero di identificazione del lotto: 2
Descrizione
Prodotti/servizi aggiuntivi: Microscopi📦
Descrizione dell'appalto:
“Sistema integrato FIB-SEM (Focused Ion Beam – Scanning Electron Microscope) per la nano-fabbricazione, esplicitata nei processi di: erosione/sputtering...”
Descrizione dell'appalto
Sistema integrato FIB-SEM (Focused Ion Beam – Scanning Electron Microscope) per la nano-fabbricazione, esplicitata nei processi di: erosione/sputtering (milling) mediante fasci energetici focalizzati di ioni (FIB); deposizione ed etching mediante precursori gassosi coadiuvati dall’energia deposta da fascio ionico e/o elettronico; litografia da fascio elettronico (electron beam lithography, EBL) da condurre su strati di resist opportuno; caratterizzazione delle nanostrutture mediante immagini di elettroni prodotte tramite una colonna/ microscopio elettronico (SEM) integrata nel sistema.
3️⃣ Ambito di applicazione dell'appalto
Titolo:
“ICP-PECVD (Inductively Coupled Plasma-Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition System)” Titolo
Numero di identificazione del lotto: 3
Descrizione
Descrizione dell'appalto:
“Sistema ICP-PECVD (Inductively Coupled Plasma-Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition System) per la deposizione assistita in plasma di ossidi (SiO2),...”
Descrizione dell'appalto
Sistema ICP-PECVD (Inductively Coupled Plasma-Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition System) per la deposizione assistita in plasma di ossidi (SiO2), Ossi-nitruri (SixOyNz) e Nitruri di silicio (Si3N4), Silicio amorfo, TEOS conformale, su lotti di produzione da 25 wafer con spessori indicativi di 500 nm.
4️⃣ Ambito di applicazione dell'appalto
Titolo: Sistema multi-target
Titolo
Numero di identificazione del lotto: 4
Descrizione
Descrizione dell'appalto:
“Sistema multi-target per la deposizione mediante RF/DC co-sputtering di film sottili. Il sistema consentirà a FBK di ampliare la gamma di possibilità oggi...”
Descrizione dell'appalto
Sistema multi-target per la deposizione mediante RF/DC co-sputtering di film sottili. Il sistema consentirà a FBK di ampliare la gamma di possibilità oggi limitate al solo alluminio e titanio e di ottenere maggiore stabilità e affidabilità delle caratteristiche di adesione dei materiali.
5️⃣ Ambito di applicazione dell'appalto
Titolo: Prober automatico
Titolo
Numero di identificazione del lotto: 5
Descrizione
Descrizione dell'appalto:
“Sistema Prober automatico da integrare come slave in un sistema di misura parametrico-funzionale esistente per consentire di movimentare in maniera...”
Descrizione dell'appalto
Sistema Prober automatico da integrare come slave in un sistema di misura parametrico-funzionale esistente per consentire di movimentare in maniera automatica la fetta di silicio, una volta conclusa la fase realizzativa dei dispositivi, permettendo il controllo funzionale di tutti i dispositivi realizzati e ivi presenti.
Procedura Tipo di procedura
Procedura aperta
Informazioni amministrative
Pubblicazione precedente relativa a questa procedura: 2018/S 102-232601
Aggiudicazione del contratto
1️⃣
Numero di identificazione del lotto: 1
Titolo: Plasma Etching
Data di stipula del contratto: 2018-09-12 📅
Informazioni sulle gare d'appalto
Numero di offerte ricevute: 2
Nome e indirizzo del contraente
Nome: Gambetti Kenologia S.r.l.
Città postale: Binasco (Milano)
Paese: Italia 🇮🇹
Regione: Milano🏙️
Il contraente è una PMI
Informazioni sul valore del contratto/lotto (IVA esclusa)
Valore totale stimato del contratto/lotto: EUR 1 900 000 💰
Valore totale del contratto/lotto: EUR 1 869 600 💰
2️⃣
Numero di contratto: 2
Numero di identificazione del lotto: 2
Titolo: FIB-SEM (Focused Ion Beam – Scanning Electron Microscope)
Informazioni sulle gare d'appalto
Numero di offerte ricevute: 1
Nome e indirizzo del contraente
Nome: Raith GmbH
Città postale: Dortmund
Paese: Germania 🇩🇪
Regione: Dortmund, Kreisfreie Stadt 🏙️ Informazioni sul valore del contratto/lotto (IVA esclusa)
Valore totale stimato del contratto/lotto: EUR 1 200 000 💰
Valore totale del contratto/lotto: EUR 1 100 000 💰
3️⃣
Numero di contratto: 3
Numero di identificazione del lotto: 3
Titolo:
“ICP-PECVD (Inductively Coupled Plasma-Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition System)” Informazioni sul valore del contratto/lotto (IVA esclusa)
Valore totale stimato del contratto/lotto: EUR 800 000 💰
Valore totale del contratto/lotto: EUR 787 200 💰
4️⃣
Numero di contratto: 4
Numero di identificazione del lotto: 4
Titolo: Sistema multi-target
Informazioni sulle gare d'appalto
Numero di offerte ricevute: 3
Nome e indirizzo del contraente
Nome: Kenosistec S.r.l.
Informazioni sul valore del contratto/lotto (IVA esclusa)
Valore totale stimato del contratto/lotto: EUR 900 000 💰
Valore totale del contratto/lotto: EUR 830 000 💰
5️⃣
Numero di contratto: 5
Numero di identificazione del lotto: 5
Titolo: Prober automatico
Nome e indirizzo del contraente
Nome: Accretech Europe GmbH
Città postale: Munchen
Regione: München, Kreisfreie Stadt 🏙️ Informazioni sul valore del contratto/lotto (IVA esclusa)
Valore totale stimato del contratto/lotto: EUR 250 000 💰
Valore totale del contratto/lotto: EUR 217 074 💰
Informazioni complementari Corpo di revisione
Nome:
“Tribunale Regionale di Giustizia amministrativa del Trentino Alto Adige — sede di Trento”
Indirizzo postale: Via Calepina 50
Città postale: Trento
Codice postale: 38122
Paese: Italia 🇮🇹 Procedura di revisione
Informazioni precise sulle scadenze delle procedure di revisione: Termini di cui al D.Lgs. 104/2010 Codice del processo amministrativo.
Fonte: OJS 2018/S 177-401067 (2018-09-13)