Sistema litografico laser 2D
Oggetto dell’appalto è la fornitura, l’installazione, la messa in funzione, il training e l’assistenza post installazione di un sistema litografico Laser 2D esente da maschera litografica, per scrittura, come da disegno CAD, di fotoresist positivi e negativi incluso l’SU8 con risoluzioni nel piano di almeno 1 micron, capacità di posizionamento su scala nanometrica e controllo della distanza di scrittura tramite opportuno auto-focusing ottico.
Scadenza
Il termine per la ricezione delle offerte era 2012-09-14.
L'appalto è stato pubblicato su 2012-07-23.
Fornitori
I seguenti fornitori sono menzionati nelle decisioni di aggiudicazione o in altri documenti di appalto:
Chi?
Cosa?
Dove?
Storia dell'approvvigionamento
| Data |
Documento |
| 2012-07-23
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Avviso di gara
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| 2013-01-15
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Avviso di aggiudicazione
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