Fornitore: Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH

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2012-07-23   Sistema litografico laser 2D (Fondazione istituto italiano di tecnologia)
Oggetto dellโ€™appalto รจ la fornitura, lโ€™installazione, la messa in funzione, il training e lโ€™assistenza post installazione di un sistema litografico Laser 2D esente da maschera litografica, per scrittura, come da disegno CAD, di fotoresist positivi e negativi incluso lโ€™SU8 con risoluzioni nel piano di almeno 1 micron, capacitร  di posizionamento su scala nanometrica e controllo della distanza di scrittura tramite opportuno auto-focusing ottico. Visualizza l'appalto ยป