Appalti recenti in cui viene citato il fornitore Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH
2012-07-23Sistema litografico laser 2D (Fondazione istituto italiano di tecnologia)
Oggetto dell’appalto è la fornitura, l’installazione, la messa in funzione, il training e l’assistenza post installazione di un sistema litografico Laser 2D esente da maschera litografica, per scrittura, come da disegno CAD, di fotoresist positivi e negativi incluso l’SU8 con risoluzioni nel piano di almeno 1 micron, capacità di posizionamento su scala nanometrica e controllo della distanza di scrittura tramite opportuno auto-focusing ottico.
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