Fornitura, installazione e messa in funzione di un sistema multicamera e multitarget per la deposizione mediante RF/DC co-sputtering di film sottili di materiali semiconduttori (intrinseci e drogati) e dielettrici e di metalli
Oggetto dell’appalto è la fornitura, installazione, messa in funzione e training del personale, di un sistema multicamera e multi target per la deposizione mediante RF/DC co-sputtering di film sottili di materiali semiconduttori (intrinseci e drogati) e dielettrici, e di metalli e relativo servizio di garanzia, assistenza e manutenzione.
Scadenza
Il termine per la ricezione delle offerte era 2012-07-31.
L'appalto è stato pubblicato su 2012-06-19.
Fornitori
I seguenti fornitori sono menzionati nelle decisioni di aggiudicazione o in altri documenti di appalto:
Chi?
Cosa?
Dove?
Storia dell'approvvigionamento
| Data |
Documento |
| 2012-06-19
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Avviso di gara
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| 2013-04-03
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Avviso di aggiudicazione
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